나노급 공정 제어, 수율(Yield) 한계 돌파 견인

웨이퍼(Wafer) 제조 및 OSAT 패키징/테스트를 위한 하이엔드 SPC. 비정규 분포 적합, 멀티 헤드(Multi-Head) 일관성 및 ATE 대용량 데이터 실시간 모니터링 난제를 해결합니다.

auto_graph비정규 분포 적합 hubMulti-Head 일관성 speedATE 실시간 데이터 스트림 biotech수율 상관관계 마이닝
Auto-Fitting

업계의 고충

"수율(Yield) 0.1% 하락은 수백만 달러의 손실을 의미합니다. 귀하의 SPC 소프트웨어는 그 미세한 변동을 잡아낼 수 있습니까?"
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비정규 분포로 인한 '거짓 경보(False Alarm)'

식각 깊이(Etching Depth), 박막 두께, 평탄도 등 공정 변수는 종종 편태(Skewed) 분포를 보입니다. 기존 SPC가 정규 분포 공식을 억지로 적용해 CPK를 계산하면 대량의 거짓 경보가 발생하여 엔지니어들이 헛수고를 하게 됩니다.

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패키징 장비의 멀티 헤드(Multi-Head) 일관성 악몽

다이 본더(Die Bonder)와 와이어 본더(Wire Bonder)는 종종 여러 노즐이나 본드 헤드를 가집니다. '전체 장비 CPK는 합격이지만, 한 헤드가 불량을 양산하는' 상황이 자주 발생하며, 기존 차트로는 국소적 이상을 발견하기 어렵습니다.

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ATE 테스트 데이터 홍수

자동 테스트 장비(ATE)는 초당 수천 개의 결과를 생성합니다. 수동 내보내기 및 분석은 뒤쳐져 진행 중인 대량 불량을 차단하지 못합니다.

NEXSPC 핵심 시나리오 및 솔루션

반도체의 '진짜 분포, 진짜 일관성, 진짜 적시성'을 통계 모델과 엔지니어링 폐루프(Closed-loop)로 되돌려 놓으십시오.

Distribution Fitting 비정규 분포를 위한 정밀 Ppk 계산

비정규 분포를 위한 정밀 Ppk 계산

Statistical Accuracy

데이터의 본모습을 밝히고 수학적 모델의 오판을 거부합니다. 반도체 공정에 만연한 비정규 데이터를 위해 NEXSPC는 고급 통계 툴박스를 내장했습니다.

  • 자동 적합 (Auto-Fitting):Anderson-Darling 검정을 자동 실행하여 와이불(Weibull), 로그 정규(Log-Normal), 지수 분포 등 모델 중 적합도가 가장 높은 곡선을 매칭합니다.
  • Box-Cox 변환:매우 복잡한 분포의 경우, 원클릭 Box-Cox 변환을 수행하여 정규 분포로 변환한 후 표준화된 채점을 진행합니다.
  • 정확한 Ppk:최적 적합 모델을 기반으로 Ppk를 계산하여 수율 평가의 신뢰성을 확보하고 거짓 경보(False Alarm)를 줄입니다.
가치: 분포가 정규가 아닐 때에도 신뢰할 수 있는 공정 성능 지수를 확보하여, '경보'가 공학적 의미를 갖도록 합니다.
Head-to-Head 멀티 헤드/멀티 노즐 일관성 '레이더' Head 7 error

멀티 헤드/멀티 노즐 일관성 '레이더'

Head-to-Head

모든 금선을 모니터링하여 '취약한' 본드 헤드를 놓치지 않습니다. Wire Bonder 및 Die Attacher와 같은 다채널 장비를 위해, NEXSPC는 다차원 그룹 관리도 및 비교 분석을 제공합니다.

  • 헤드 간 비교 (Head-to-Head):동일 장비의 여러 헤드/노즐을 그룹으로 오버레이합니다. 그룹 상자 그림(Box Plot)을 통해 평균 드리프트와 분산 이상을 한눈에 파악합니다.
  • 분산 분석 (ANOVA):각 헤드 간의 차이가 유의미한지 자동 판정하여, 장비 엔지니어(EE)에게 목표 지향적 교정(Calibration)을 가이드합니다.
가치: '장비는 정상이지만 부품은 불량'인 숨겨진 손실을 방지합니다. 대량 불량으로 확산되기 전에 불량 헤드 문제를 조기에 차단합니다.
WEB API / MQTT / WebSocket / OPC UA 초당 100개 이상의 동시 쓰기

초 단위 ATE 데이터 실시간 상호 연결

WEB API / MQTT / WebSocket / OPC UA

테스터의 박자에 맞춰 '측정 즉시 분석'을 실현합니다. OSAT 공장의 방대한 데이터 처리량에 대응하여, NEXSPC는 경량 산업용 프로토콜과 고동시성 쓰기 아키텍처를 채택했습니다.

  • TCP 리스닝:구형 장비를 위해 TCP 서버 포트를 수신하여 테스트 로그를 실시간으로 파싱하는 기능을 지원합니다.
  • MQTT 고빈도 구독:테스터 주제를 구독합니다. 초당 100개 이상의 동시 쓰기를 지원하며 실시간 수율 추세 차트를 생성합니다.
  • 이상 차단 (Interception):연속 N개의 칩 전압 이상을 감지하면, 초 단위로 경보를 트리거하고 장비 정지(Interlock)를 연동합니다.
가치: '사후 점검'에서 실시간 건강 검진 및 차단으로 업그레이드하십시오. 대량 불량이 발생하는 즉시 손실을 중단합니다.
Regression / Auto-Lag 공정 변수와 수율(Yield) 간의 상관관계 마이닝

공정 변수와 수율(Yield) 간의 상관관계 마이닝

Data Correlation & Root Cause Analysis

결과에서 원인을 추적하여 주요 제어 특성(KCC)을 찾습니다. 수율 하락: 온도가 문제인가, 압력이 문제인가? NEXSPC는 전공정 변수와 최종 테스트 수율을 하나의 '데이터 인과 사슬'로 연결합니다.

  • 상관분석:최종 테스트 수율(Y)과 전공정 장비 변수(X, 예: 오븐 온도, 압력) 간의 회귀 분석을 수행합니다.
  • 자동 지연 마이닝 (Auto-Lag):자동 지연(Auto-Lag) 알고리즘이 '2시간 전의 온도 변동'이 '현재 수율 하락'의 주범임을 밝혀냅니다.
가치: '추측'을 '증거 기반' 공정 최적화로 전환합니다. 무효한 조정을 줄이고 개선 적중률을 높입니다.

고객 가치 비교 (Before & After)

분포 모델에서 데이터 적시성, 분석 깊이에 이르기까지: 모든 항목이 수율(Yield)과 비용에 직결됩니다.

차원 기존 Excel / 범용 SPC 소프트웨어 NEXSPC 반도체 전용 에디션
분포 모델 정규 분포 기본값. 비정규 데이터의 CPK 계산 오류 발생. Weibull/Log-Normal 자동 적합. Ppk 오차 <1%. <1%
멀티 헤드 관리 장비 전체 능력만 확인 가능하여 불량 헤드 문제가 가려짐. 멀티 헤드/노즐 그룹 비교 및 상자 그림 원클릭 전개. 취약한 Head 정밀 타격.
데이터 적시성 일일/교대조별 ATE 보고서 내보내기. 단순한 '사후 점검'. MQTT 초 단위 수집. 실시간 '건강 검진' 및 차단.
분석 깊이 차트 그리기에 국한됨. ANOVA, 회귀 분석, Auto-Lag 등 식스 시그마급 도구 제공.